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特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备专利技术全文光盘
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[ABC81-000-003] 微机电系统器件的真空封装方法
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[ABC81-000-005] 气敏元件及其制造方法
[ABC81-000-006] SDH指针处理方法及电路
[ABC81-000-007] 制作悬式微结构的方法
[ABC81-000-008] 一种微光机电器件的制作方法
[ABC81-000-009] 微机械装置和制造这种装置的方法
[ABC81-000-010] 全干法深刻蚀硅溶片制造方法
[ABC81-000-011] 微机电元件的晶圆级封装装置
[ABC81-000-012] 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
[ABC81-000-013] 微电子机械系统模块的系统级设计库的建立方法
[ABC81-000-014] 微电子机械系统器件大信号等效电路宏模型的建立方法
[ABC81-000-015] 陀螺仪及其制造方法
[ABC81-000-016] 微机电系统后封装工艺
[ABC81-000-017] 微结构制造和微系统集成
[ABC81-000-018] 硅系列构造体的制造装置与制造方法
[ABC81-000-019] 微电机元件以及制造方法
[ABC81-000-020] 玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法
[ABC81-000-021] 一种微机电芯片的密封腔体制作方法
[ABC81-000-022] 用于底切的金属布线方法
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[ABC81-000-028] 悬臂梁式微机电系统的制作方法
[ABC81-000-029] 微结构模仁制作技术
[ABC81-000-030] 薄膜以及该薄膜的制造方法
[ABC81-000-031] 微悬浮结构的制造方法
[ABC81-000-032] 整合集成电路组件和微机电系统的制造方法
[ABC81-000-033] 揭起软刻技术进行胶体晶体图案化微加工的方法
[ABC81-000-034] 基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法
[ABC81-000-035] 利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法
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[ABC81-000-037] 全干法硅-铝-硅结构微机械加工方法
[ABC81-000-038] 磁性杂化纳米纤维自组装超晶格结构材料及其制备方法
[ABC81-000-039] 与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法
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